PECVD是制备薄膜光伏电池中非晶硅接收层的要害工艺，而PECVD真空腔体则是PECVD工艺所需主要装备载体之一。

真空腔体是指包管内部为真空状况的容器装备，当前在手艺工艺要求不竭进级布景下，大都进步前辈工艺均需在真空或惰性气体庇护前提下完成，是以，真空腔体应运而生，成为包管多种工艺顺遂实行的金年会要害装备。

PECVD真空腔体则是等离子加强型化学气相淀积（PECVD）手艺工艺中所需真空腔体的总称。按照用处分歧，PECVD真空腔体可分为PECVD真空工艺腔体与PECVD真空传送腔体两年夜类；按照材质分歧，PECVD真空腔体可分为不锈钢、铝合金、钛合金真空腔体等。

等离子加强型化学气相淀积（PECVD）是化学气相淀积手艺的一种，是指在低气压前提下，操纵低温等离子体在真空腔体的阴极上发生辉光放电，经由过程辉光放电使样品升温，再与气体产生反映下，使样品概况构成固态薄膜的进程。PECVD是制备薄膜光伏电池中非晶硅接收层的要害工艺，而PECVD真空腔体则是PECVD工艺所需主要装备载体之一。当前鄙人游薄膜光伏电池市场快速成长带动下，PECVD真空腔体行业迎来成长新机缘。

PECVD工艺在异质结（HJT）光伏电池中利用占比力年夜。HJT电池是光伏电池行业中具有倾覆性手艺的新型电池，当前在光伏发电财产快速成长布景下，其财产化历程正不竭加速。今朝已有爱康科技、宝馨科技、东方日升等多家企业结构HJT电池项目，2022年国内HJT电池扩产范围在20-30GW。按照新思界财产研究中间发布的《2023-2028年PECVD真空腔体行业市场深度调研和投资前景猜测阐发陈述》显示，将来跟着HJT电池加快扩产，估计到2025年，我国PECVD真空腔体市场范围有望到达7.9亿元，2023-2025年范围复合年增加率将跨越100%。

PECVD真空腔体属在年夜型铸件之一，今朝国内具有量产能力的企业首要包罗明志科技、日扬科技、神商周详器材、帕萨电子设备等。现阶段，我国HJT电池还没有实现财产化，是以，作为其配套设备的PECVD真空腔体行业仍处在初步成长阶段，结构企业数目较少。

新思界财产阐发人士暗示，异质结（HJT）电池是一种高效晶硅太阳能电池布局，是一类极具成长潜力的太阳能电池，当前在其优势不竭凸显布景下，其财产化历程正不竭加快。而PECVD真空腔体作为HJT电池焦点出产工艺PECVD的要害装备载体，市场需求得以不竭增添。但今朝国内PECVD真空腔体行业仍处在初步成长阶段，将来还庞大成漫空间。

原文题目:【洞察】PECVD真空腔体是HJT电池出产所需要害装备 行业成长前景广漠